|
4200A-SCS 是一種可以量身定制、全面集成的參數(shù)分析儀，可以同步查看電流電壓(I-V)、電容電壓(C-V) 和超快速脈沖式I-V 特性。作為參數(shù)分析儀，4200A-SCS 加快了半導(dǎo)體、材料和工藝開發(fā)速度。
4200A-SCS ClariusTM 基于GUI 的軟件提供了清楚的、不折不扣的測(cè)量和分析功能。憑借嵌入式測(cè)量專業(yè)知識(shí)和數(shù)百項(xiàng)隨時(shí)可以投入使用的應(yīng)用測(cè)試，Clarius Software 可以更深入地挖掘研究過程，快速而又滿懷信心。
4200A-SCS 參數(shù)分析儀可以根據(jù)不同用戶需求進(jìn)行靈活配置，不管是現(xiàn)在還是未來(lái)，都可以隨時(shí)對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行升級(jí)。
主要性能指標(biāo)
I-V 源測(cè)量單元(SMU)
- ± 210 V/100 mA 或 ± 210 V/1 A 模塊
- 100 fA測(cè)量分辨率
- 選配前端放大器提供了 10 aA測(cè)量分辨率
- 10 mHz - 10 Hz 超低頻率電容測(cè)量
- 四象限操作
- 2 線或 4 線連接
C-V 多頻率電容單元(CVU)
- AC 阻抗測(cè)量 (C-V, C-f, C-t)
- 1 kHz - 10 MHz 頻率范圍
- ± 30 V (60 V差分)內(nèi)置DC偏置源，可以擴(kuò)展到± 210 V(420 V 差分)
- 選配 CVIV 多通道開關(guān)，在 I-V 測(cè)量和 C-V 測(cè)量之間簡(jiǎn)便切換脈沖式I-V 超快速脈沖測(cè)量單元(PMU)
- 兩個(gè)獨(dú)立的或同步的高速脈沖 I-V 源和測(cè)量通道
- 200 MSa/s，5 ns 采樣率
- ±40 V (80 V p-p)，±800 mA
- 瞬態(tài)波形捕獲模式
- 任意波形發(fā)生器 Segment ARB® 模式，支持多電平脈沖波形，10 ns 可編程分辨率
高壓脈沖發(fā)生器單元(PGU)
- 兩個(gè)高速脈沖電壓源通道
- ±40 V (80 V p-p)，± 800 mA
- 任意波形發(fā)生器 Segment ARB®模式，支持多電平脈沖波形，10 ns 可編程分辨率I-V/C-V 多通道開關(guān)模塊 (CVIV)
- 在 I-V測(cè)量和 C-V 測(cè)量之間簡(jiǎn)便切換，無(wú)需重新布線或抬起探針
- 把 C-V測(cè)量移動(dòng)到任意端子，無(wú)需重新布線或抬起探針遠(yuǎn)程前端放大器/ 開關(guān)模塊(RPM)
- 在 I-V 測(cè)量、C-V 測(cè)量和超快速脈沖 I-V 測(cè)量之間自動(dòng)切換
- 把 4225-PMU的電流靈敏度擴(kuò)展到數(shù)十皮安
- 降低電纜電容效應(yīng)
標(biāo)配附件
- 4200A-SCS
- 參數(shù)分析儀主機(jī)
1 條236-ILC-3 互鎖電纜, 3 米(10 英尺)
2 條4200-TRX-2 超低噪聲三軸電纜，2 米(6.6 英尺)。
- 4200-SMU
- 中等功率源測(cè)量單元, 適用于4200A-SCS, 100 mA ~ 100 fA, 200 V ~ 0.2mV, 2 W
- 如果配置一個(gè)前端放大器：
- 4200-PA 標(biāo)配所有電纜。參見下面的4200-PA。
- 如果沒有配置前端放大器：
- 2 條4200-MTRX-2 迷你超低噪聲三軸電纜，2 米(6.6 英尺)。
- 4210-SMU
- 高功率源測(cè)量單元，用于4200A-SCS，1 A ~ 100 fA，200 V ~ 0.2 μV，20 W
- 如果配置一個(gè)前端放大器：
- 4200-PA 標(biāo)配所有電纜。參見下面的4200-PA。
- 如果沒有配置前端放大器：
- 2 條4200-MTRX-2 迷你超低噪聲三軸電纜，2 米(6.6 英尺)。
- 4200-PA
- 遠(yuǎn)程前端放大器選項(xiàng)，用于4200-SMU 和4210-SMU，把SMU 擴(kuò)展到0.1 fA 分辨率
1 條4200-RPC 遠(yuǎn)程前端放大器電纜，2 米(6.6 英尺)
2 條4200-TRX-2 超低噪聲三軸電纜，2 米(6.6 英尺)
- 4210-CVU
- 電容- 電壓(C-V) 模塊4 根CA-447A SMA 電纜, 公頭到母頭, 100W, 1.5m (5 英尺) • 4 個(gè)CS-1247 母頭SMA 到公頭BNC 適配器
2 個(gè)CS-701 BNC T 型適配器• 1 個(gè)TL-24 SMA 扭矩扳手
- 4225-PMU
- 超快速脈沖測(cè)量單元4 根SMA 到SMA 50W 電纜, 2m (6.6 英尺)
2 個(gè)SMA 到SSMC Y 電纜組件, 6 英寸
- 4225-RPM
- 遠(yuǎn)程預(yù)放/ 開關(guān)模塊1 根SMA 到SMA 50W 電纜, 20cm (7.9 英寸)
1 個(gè)三同軸到BNC 適配器
1 個(gè)BNC 到SMA 適配器
1 條RPM 電纜, 2.1m (6.9 英尺)
- 4220-PGU
- 高電壓脈沖發(fā)生器(4) SMA 到SMA 50W 電纜, 2m (6.6 英尺)
(2) SMA 到SSMC Y- 電纜組件, 6 英寸
- 4200A-CVIV
- I-V，C-V 多功能開關(guān)模塊2 個(gè)4200A-CVIV-SPT SMU 直傳模塊
2 個(gè)214543500 插槽封堵模塊
1 條174691500 USB 電纜
注：對(duì)通過4200A-CVIV 連接的每個(gè)SMU，都要求一個(gè)或4200A-CVIV-SPT 或一個(gè)4200-PA。
技術(shù)資料下載
|
